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超声波除尘系统
应用范围

适用于电池涂布、半导体器件和玻璃基板的除尘。

设备优势

干式非接触除尘的方式,避免污染或损伤材料表面

超声波除尘头无需维护,只需维护风机及更换滤芯

相比传统非接触式风刀除尘,能去除6um以下尘粒

科学设计的封闭循环系统,不会污染洁净室

主要参数
腔体压力
4-5KPa
负压口压力
-4~-1KPa
工作距离
5mm以内,1.5mm最佳
使用环境
万级以下干燥无尘车间
功率
7.5KW/11.5KW
电源
380V,50/60HZ
处理风量
>600m³/h
过滤效率
99%,0.3um精度
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